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Shanghai Maoshuo Machinery Equipment Co., Ltd
Verkauf von Hochvakuumventilen
VerhandlungsfähigAktualisieren am01/12
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Übersicht
Schweizer VAT UHV-Serie Ultrahochvakuumventile Im Folgenden finden Sie eine detaillierte technische Analyse der VAT UHV-Serie Ultrahochvakuumventile, die ihre Eigenschaften, Parameter und Anwendungsszenarien abdeckt, die für raue Umgebungen wie Halbleiter, Forschung und andere geeignet sind:
Produktdetails
Schweizer MwSt. UHV Serie Ultrahochvakuumventile
Hauptmerkmale der UHV-Serie
1. Produktpositionierung
TypUltra-High Vacuum Valve (Vollmetalldichtung)
Anwendungsbereich Vakuum：
Standard-Ausgabe：10⁻⁹ ~ 10⁻ ² mbar
Individuelle VersionBis zu 10-13 mbar (spezielle Backkonstruktion)
Hauptvorteile：
Null Leckage: Metalldichtungsleckage<1×10−¹² mbar=''> (Er prüft Leckage).
Hochtemperaturbeständiges Backen: Ventilkörper ertragen250°C bis 300°CBacken (Standardversion)/450°C(maßgeschneiderte Version).
Kein organisches Material: Vollmetallstruktur, um Entgasverschmutzung zu vermeiden.
2. Gestaltung
DoppeldichtungssystemHauptdichtung (Metall-Messer) + Nebendichtung (Elastizitätskompensation).
Niedriger Drehmomentantrieb: Magnetkopplung oder Wellenrohrantrieb, um Wellendichtungen zu vermeiden.
Materialreinheit: 316L Edelstahl (EP-Klasse Elektrolyse Polieren), Oberflächenrauhe < 0,8 μm. <>
Klassifizierung und technische Parameter
1. Modellbezeichnungsregeln (z.B. MwSt. UHV 24)
| Codesegmente | Bedeutung |
|---|---|
| UHV | Serienname (Ultrahochvakuumventil) |
| 24 | Durchmessergröße (24=DN40, 54=DN100) |
| Suffix | Antriebsart (z.B. -M = manuell, -A = pneumatisch) |
2. Untermodellvergleichstabelle
| Modell | Durchmesser | Typ der Flanke | Fahrart | Auslaufrate | Backtemperatur | Preisbereich (¥) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MwSt. UHV 24-A | DN40 | CF-F | pneumatisch | <1×10 ⁻ ¹² mbar = ''> | 250°C | 50,000~80,000 |
| MwSt. UHV 54-M | DN100 | ISO-K | manuell | <1×10 ⁻ ¹² mbar = ''> | 300°C | 120,000~180,000 |
| MwSt. UHV 10-E | DN16 | ICF | elektrisch | <1×10 ⁻ ¹³ mbar = ''> | 450°C (maßgeschneidert) | 200,000+ |
3. Detaillierte technische Parameter
| Parameter | Standardwert/Bereich |
|---|---|
| 真空性能 | |
| - Auslaufrate | <1×10 ⁻ ¹² mbar = ''> |
| - Druckdifferenz | 10-1 mbar - Atmosphärischer Druck |
| Mechanische Eigenschaften | |
| - Ventilkörper Material | Edelstahl 316L (Klasse EP) |
| - Dichtmaterial | Kupfer/Aluminium vergoldet oder sauerstofffrei |
| - Lebenszyklus | > 50.000 Mal (Metalldichtung) |
| Elektrische/pneumatische Parameter | |
| - Fahrart | Pneumatisch (0,5 ~ 0,7MPa) / elektrisch (24V DC) |
| - Reaktionszeit | Pneumatische Version ≤1s, elektrische Version ≤5s |
| Umweltanpassung | |
| - Backtemperatur | Standard 250°C, maßgeschneiderte 450°C |
| - Korrosionsbeständigkeit | Kompatibel mit H₂, O₂ und Plasma (optionale Beschichtung erforderlich) |
Typische Anwendungsszenarien
1. Halbleiterherstellung
Anwendungen：
Räume Isolierung der Graviermaschine/Ioneninjektionsmaschine (gegen Partikelverschmutzung).
Ultrahochvakuum-Aufrechterhaltung des Molecular Beam Extension (MBE) Systems.
Modell empfohlen：
MwSt. UHV 24-A (DN40, pneumatische Schnellisolierung).
2. Forschungseinrichtungen
Anwendungen：
Synchronisierte Strahlensteuerung der Strahlenlichtquelle.
Vakuumsegmentierung von Kernfusionsgeräten (z. B. Tokamak).
Modell empfohlen：
MwSt. UHV 54-M (DN100, manuell zuverlässig versiegelt).
3. Raumfahrt und Beschichtungen
Anwendungen：
Vakuumdichtungsprüfung von Satelliten-Treibstoffspeichertanks.
Raumdruckregelung der optischen Beschichtungsmaschine.
Modell empfohlen：
MwSt. UHV 10-E (DN16, elektrische Präzisionssteuerung).
Auswahl und Installation
1. Schlüsselfaktoren der Auswahl
DurchgangsbedarfBerechnet auf Grundlage des Durchflusses (z.B. DN40 entspricht etwa 20 L/s bei 10-6 mbar).
Fahrart：
pneumatischSchnellschalter (geeignet für sichere Isolation).
elektrischIntegrierbare automatisierte Steuerung (z.B. PLC).
Frankreich Standard：
CF Frankreich: Ultrahochvakuum (Metalldichtung).
ICF FrankreichMinimale Leckageforderungen (z.B. 10-13 mbar).
2. Installationsvorschriften
Reinigungsanforderungen：
Reinigen Sie den Flansch vor der Installation mit Aceton/Alkohol (mit staubfreien Handschuhen).
Drehmomentsteuerung：
CF-Flanschschrauben müssen Schritt für Schritt diagonal angespannt werden (DN40 empfiehlt 8 bis 10 Nm).
Backempfehlungen：
Bei einer Geschwindigkeit von 10 °C/min auf 250 °C erwärmt und 48 Stunden isoliert.
V. Wartung und Fehlerbehebung
| Störungen | Mögliche Gründe | Lösungen |
|---|---|---|
| Überschreitete Leckerquote | Dichtungsretzer / Partikelverschmutzung | Dichtungsflächen neu polieren oder Ventilsitze austauschen |
| Ventil blockiert | Hochtemperaturverformung / unzureichende Schmierung | Verwendung von Hochtemperatur-Schmierstoffen wie Apiezon N |
| Treiber ist fehlgeschlagen | Elektromagnetventilfehler (pneumatische Version) | Überprüfen Sie den Druck (≥0,5 MPa) |
